设备编号*

12000023

分类编号

03040702

仪器中文名称*

扫描电子显微镜

仪器外文名称

Scanning electron microscopy

仪器规格型号*

JSM-6510

仪器总价（元）*

生产厂商*

日本电子株式会社

产地国别*

日本

生产日期

2011-12-20

启用日期*

2012/3/5

所在单位*

物理学院

实验室名称

应用物理

安放详细地址*

物理学院2-104

联系人*

刘传胜

电话*

18972512093

E-mail

csliuan@whu.edu.cn

测试服务标准*

按机时数（图像观察） 200 元/小时，电子束刻蚀 400 元/小时

每周开放机时数*

主要技术指标*

二次电子像分辨率：2.5nm (30KV), 7nm (3KV);

2、放大倍数：x5 to x300,000;

3、加速电压：0.5KV to 30KV,

4、束流：1pA to 1uA ;

5、全对中大样品台，样品的最大直径150mm,

样品台的移动范围：X:80mm, Y:40mm, Z:5~48mm, T:-10°to +90°, R:360°

6、真空系统：10^-5Pa数量级

7、大视野观察范围（Large Field of View）

最低的放大倍数可达5倍，可观测到24mm见方的样品，便于用户分析寻找样品。

8、高精度的可变焦聚光镜系统(Precision Zoom Condenser lens)

探测电流发生变化时，图像的聚焦状态可保持不变。

9、全对中的样品台 (Eucentric Stage)

10、大样品室 (Large specimen chamber) ，可对直径为(150mm)的样品进行直接观察 。

11、可安装EBL电子束刻蚀系统。

主要测试和

研究领域

（多选）*

农业□, 农产品和食品□, 林业□, 土壤□, 生态环境□,

材料■,生物医学□, 医药□, 石油化工□, 地质矿产□,

珠宝首饰□, 机械工程■, 海洋□,大气物理□,水文气象□,

公共安全□, 能源■, 轻工□, 电子与测量■, 计算机□,

有机化学□, 考古□, 天文□, 其它□

主要附件及功能*

仪器认证情况*

无

是否共享*

是■, 否□

仪器状态*

正常■,偶有故障□,

故障频繁□,报废□,

闲置□,未启用□,

待修□

服务统计年份

2011-2012

年对外服务机时

（ 小时）

年对外服务收入

（ 元）

机组技术人员*

姓名

职称

电话

E-mail

廖蕾

教授

027-68752567

liaolei@whu.edu.cn

刘传胜

高级工程师

18971512093

csliuan@whu.edu.cn

用户范围

及服务项目*

面向澳门十大电子正规游戏网站各科研单位，材料的结构测试与分析

主要应用成果

1. 三大检索论文约3篇/年；其中一区论文1篇，

2. 培训上机操作人数10余人。

3. 科研课题5项。

仪器图片*

（或多媒体信息）

备 注