设备编号*

11000166

分类编号

03060301

仪器中文名称*

原子层沉积系统

仪器外文名称

Atomic Layer Deposition System

仪器规格型号*

Beneq TSF-200

仪器总价（元）*

生产厂商*

芬兰Beneq

产地国别*

芬兰

生产日期

2009

启用日期*

2011.05

所在单位*

澳门十大电子正规游戏网站

实验室名称

安放详细地址*

澳门十大电子正规游戏网站2-110

联系人*

吴昊

电话*

15971459108

E-mail

H.wu@whu.edu.cn

测试服务标准*

校内 元/小时；院内元/小时；校外元/小时；

每周开放机时数*

小时

主要技术指标*

三路液态源，两路气态源（NH3，O3），两路固态源

主要测试和

研究领域

（多选）*

农业□, 农产品和食品□, 林业□, 土壤□, 生态环境□,

材料■,生物医学■, 医药□, 石油化工□, 地质矿产□,

珠宝首饰□, 机械工程□, 海洋□,大气物理□,水文气象□,

公共安全□, 能源■, 轻工□, 电子与测量■, 计算机□,

有机化学■, 考古□, 天文□, 其它□

主要附件及功能*

1. 以原子层精度进行薄膜生长。

2. 备有NH3源及臭氧源，可以生长多种氮化物和氧化物薄膜。

3. 薄膜平整，表面覆盖率、保形性极好

仪器认证情况*

无

是否共享*

是□, 否■

仪器状态*

正常■,偶有故障□,

故障频繁□,报废□,

闲置□,未启用□,

待修□

服务统计年份

2011年

年对外服务机时

21（小时）

年对外服务收入

0（元）

机组技术人员*

姓名

职称

电话

E-mail

吴昊

副教授

027-68752567

h.wu@whu.edu.cn

用户范围

及服务项目*

薄膜材料生长

主要应用成果

1. 三大检索论文约3篇/年；

2. 年开设本科毕业设计2~5项；研究生毕业（设计）论文2~3项。

3. 年培训上机操作人数5人。

4. 科研课题9项。

5. 社会服务3项。

仪器图片*

（或多媒体信息）

备 注