设备编号*

09000050

分类编号

03060302

仪器中文名称*

溅射镀膜机

仪器外文名称

仪器规格型号*

ACS-4000-C4

仪器总价（元）*

生产厂商*

日本真空

产地国别*

日本

生产日期

启用日期*

2009.3

所在单位*

澳门十大电子正规游戏网站

实验室名称

安放详细地址*

1区103

联系人*

肖湘衡

电话*

68752481-2212

E-mail

测试服务标准*

按样品数 200 元/个， 按机时数 100 元/小时

每周开放机时数*

10

主要技术指标*

真空室极限真空为1.0x10-5Pa

最大样品4英寸

薄膜厚度不均匀性≤±5%

工件烘烤600度

控制系统采用可编程控制器，内部包含真空系统、传动及提升等电器控制和互锁关系

主要测试和

研究领域

（多选）*

农业□, 农产品和食品□, 林业□, 土壤□, 生态环境□,

材料■,生物医学□, 医药□, 石油化工□, 地质矿产□,

珠宝首饰□, 机械工程□, 海洋□,大气物理□,水文气象□,

公共安全□, 能源□, 轻工□, 电子与测量□, 计算机□,

有机化学□, 考古□, 天文□, 其它□

主要附件及功能*

可用于制备金属、绝缘体、半导体、磁性材料复合膜，也可以镀制单层膜及多层膜等。配备直流电源、射频电源。

仪器认证情况*

无

是否共享*

是□, 否■

仪器状态*

正常■,偶有故障□,

故障频繁□,报废□,

闲置□,未启用□,

待修□

服务统计年份

年对外服务机时

（小时）

年对外服务收入

（元）

机组技术人员*

姓名

职称

电话

E-mail

肖湘衡

教授

68752481-2212

xxh@whu.edu.cn

任峰

教授

68752481-2227

fren@whu.edu.cn

用户范围

及服务项目*

面对全校开放，薄膜制备

主要应用成果

仪器图片*

（或多媒体信息）

备 注